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    微电子工艺
    课程类型：选修课
    发布时间：2022-01-19 17:12:38
    主讲教师：田丽
    课程来源：哈尔滨工业大学
    建议学分：3.00分
    课程编码：xtzx1125
    课程介绍
    课程目录
    教师团队
    绪论
    1、 微电子工艺是讲什么的 （5分钟）
    2、 微电子工艺的发展历程如何？ （8分钟）
    3、 微电子工艺有什么特点？ （6分钟）
    4、 半导体单晶硅有什么特性？ （9分钟）
    4、 半导体单晶硅有什么特性？ （6分钟）
    4、 半导体单晶硅有什么特性？ （8分钟）
    第一单元 硅衬底制备
    第1章 硅片制造 （7分钟）
    第1章 硅片制造 （6分钟）
    第1章 硅片制造 （10分钟）
    第1章 硅片制造 （8分钟）
    第1章 硅片制造 （7分钟）
    第1章 硅片制造 （2分钟）
    第2章 外延 （7分钟）
    第2章 外延 （7分钟）
    第2章 外延 （6分钟）
    第2章 外延 （8分钟）
    第2章 外延 （7分钟）
    第2章 外延 （7分钟）
    第2章 外延 （6分钟）
    第2章 外延 （8分钟）
    第2章 外延 （8分钟）
    第2章 外延 （2分钟）
    第二单元 氧化与扩散
    第3章 热氧化 （5分钟）
    第3章 热氧化 （5分钟）
    第3章 热氧化 （6分钟）
    第3章 热氧化 （2分钟）
    第3章 热氧化 （4分钟）
    第3章 热氧化 （4分钟）
    第3章 热氧化 （6分钟）
    第3章 热氧化 （3分钟）
    第3章 热氧化 （5分钟）
    第3章 热氧化 （3分钟）
    第3章 热氧化 （4分钟）
    第3章 热氧化 （5分钟）
    第3章 热氧化 （3分钟）
    第3章 热氧化 （3分钟）
    第4章 扩散 （6分钟）
    第4章 扩散 （4分钟）
    第4章 扩散 （5分钟）
    第4章 扩散 （4分钟）
    第4章 扩散 （6分钟）
    第4章 扩散 （4分钟）
    第4章 扩散 （3分钟）
    第4章 扩散 （4分钟）
    第4章 扩散 （6分钟）
    第4章 扩散 （6分钟）
    第4章 扩散 （4分钟）
    第4章 扩散 （6分钟）
    第4章 扩散 （2分钟）
    第4章 扩散 （3分钟）
    第5章 离子注入 （3分钟）
    第5章 离子注入 （2分钟）
    第5章 离子注入 （6分钟）
    第5章 离子注入 （4分钟）
    第5章 离子注入 （6分钟）
    第5章 离子注入 （6分钟）
    第5章 离子注入 （3分钟）
    第5章 离子注入 （3分钟）
    第5章 离子注入 （3分钟）
    第5章 离子注入 （6分钟）
    第5章 离子注入 （5分钟）
    第5章 离子注入 （7分钟）
    第5章 离子注入 （6分钟）
    第5章 离子注入 （5分钟）
    第三单元 薄膜制备
    第6章 化学气相淀积 （5分钟）
    第6章 化学气相淀积 （4分钟）
    第6章 化学气相淀积 （8分钟）
    第6章 化学气相淀积 （9分钟）
    第6章 化学气相淀积 （6分钟）
    第6章 化学气相淀积 （8分钟）
    第6章 化学气相淀积 （4分钟）
    第6章 化学气相淀积 （7分钟）
    第6章 化学气相淀积 （7分钟）
    第6章 化学气相淀积 （4分钟）
    第6章 化学气相淀积 （8分钟）
    第6章 化学气相淀积 （7分钟）
    第6章 化学气相淀积 （8分钟）
    第7章 物理淀积 （4分钟）
    第7章 物理淀积 （3分钟）
    第7章 物理淀积 （7分钟）
    第7章 物理淀积 （6分钟）
    第7章 物理淀积 （7分钟）
    第7章 物理淀积 （5分钟）
    第7章 物理淀积 （6分钟）
    第7章 物理淀积 （7分钟）
    第7章 物理淀积 （5分钟）
    第7章 物理淀积 （10分钟）
    第四单元 光刻
    第8章 光刻工艺 （13分钟）
    第8章 光刻工艺 （16分钟）
    第8章 光刻工艺 （12分钟）
    第8章 光刻工艺 （12分钟）
    第8章 光刻工艺 （8分钟）
    第8章 光刻工艺 （13分钟）
    第8章 光刻工艺 （15分钟）
    第8章 光刻工艺 （7分钟）
    第9章 刻蚀技术 （10分钟）
    第9章 刻蚀技术 （18分钟）
    第9章 刻蚀技术 （13分钟）
    第9章 刻蚀技术 （11分钟）
    第9章 刻蚀技术 （9分钟）
    第五单元 工艺集成与封装测试
    第10章 腐蚀技术 （12分钟）
    第10章 腐蚀技术 （12分钟）
    第10章 腐蚀技术 （17分钟）
    第10章 腐蚀技术 （14分钟）
    第10章 腐蚀技术 （9分钟）
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